真空泵是用机械或物理化学的方法对密闭容器进行抽气从而获得真空的仪器设备,根据使用环境和方式的不同,真空泵的种类也有了很大的变化。正常情况下,真空泵的分类是按三个方面来区分的,分别是工作原理、真空度的高低和结构特点,今天我们就分别来了解一下。
①工作原理:根据工作原理,可分为气体转移真空泵和气体捕获真空泵两类。气体转移式真空泵是一种通过将气体不断的吸入和排出以此来达到抽真空目的的真空泵,使用该原理的真空泵油变容真空泵和动量传输真空泵两种。气体捕获式真空泵是通过将气体分子吸附在泵的内表面从而使密封容器内部的气体分子减少从而达到抽真空的目的真空泵,其中代表性的应用有螺杆式真空泵、分子真空泵、旋片式真空泵、喷射真空泵和活塞式真空泵等。
②真空度:除了粗真空和低真空可以用一种真空泵来完成,高真空以上的领域一定要两个以上的真空泵机组才能完成。根据真空度的不同,我们可以大致分为14类,分别是:
1.高/*真空:低温泵、分子泵、扩散泵、升华泵、溅射离子泵。
2.中空泵:干式泵、罗茨泵、油增压泵、双*旋片泵、水蒸汽喷射泵。
3.粗/低真空:液环泵、滑阀泵、单*旋片泵、往复式真空泵。
③结构特点:根据真空泵的结构特点,可分为机械式真空泵和射流式真空泵两种,通过机械运动不断改变真空泵的吸气容腔容积从而获得真空,我们称之为机械式真空泵。机械真空泵有旋片泵、螺杆泵、罗茨泵、液环泵、往复真空泵、旋转机械泵等。射流泵是利用流体来传递能量和质量的,它由喷嘴、吸入室、扩压管三部分组成,本身没有运动部件。其工作原理是利用高压工作流体从喷嘴高速喷出,经能量转换后在喷嘴出口形成真空区,从而将被抽吸的介质吸出,两种介质在扩压管中进行能量交换,以达到抽真空的目的。所用的真空泵有气体喷射泵、蒸汽喷射泵及其它类型的扩散泵等。
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